Элегаз - важнейший компонент КРУЭ, благодаря своим физико-химическим свойствам подавляет образование дуги внутри установки. Элегаз безвреден для человека, но, при больших концентрациях он может вытеснить воздух из объема легких рабочего персонала, вызывая удушье. Кроме того, продукты распада SF6, такие как SF4, SF2, S2F10, SO3, могут нанести вред здоровью, от кратковременных до сильных расстройств. В связи с тем, что на практике возможны утечки дорогостоящего гексафторида серы и продуктов его распада, необходимо производить контроль утечек КРУЭ.

Контроль утечек может осуществляться разными способами: мониторингом показаний плотномера (датчика анализатора КРУЭ), течеискателями элегаза или с помощью газоанализаторов (газовых датчиков КРУЭ), установленных в помещениях электроустановок. Принцип их работы различен, а наиболее эффективным в контроле утечек КРУЭ является совокупность применения вышеуказанных способов.

Плотномер обычно устанавливается на корпус самого распределительного устройства и анализирует плотность элегаза внутри установки. Для того, чтобы исключить возможность дифференциации показаний при различных температурах, в датчиках анализаторах КРУЭ используются элементы, обеспечивающие температурную компенсацию. Течеискатели КРУЭ обеспечивают локализацию мест, в которых происходит утечка. Их отличия от газоанализаторов КРУЭ в том, что течеискатели способны уловить малейшую концентрацию элегаза.

Газовые датчики КРУЭ, расположенные в помещениях рабочей зоны, в первую очередь, служат для оповещения персонала подстанции об опасном уровне загрязнения воздуха. Это осуществляется путем непрерывного контроля концентрации элегаза в помещениях электроустановок. При превышении порога концентрации гексафторида серы в воздухе, срабатывает светозвуковая сигнализация, оповещающая персонал об опасности.